MEMS陀螺仪简介
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。
微惯性器件和微惯性测量组合技术的发展，导致新一代陀螺仪包括硅微机械陀螺仪、石英晶体微惯性仪表、微型光纤陀螺仪、微型光波导陀螺仪等产生和应用。目前，硅微机械陀螺仪应用范围越来越广泛，包括航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。
硅微机械陀螺仪是利用coriolis定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是：
1. 体积小、重量轻，其边长都小于1mm，器件核心的重量仅为1.2mg。
2. 成本低。
3. 可靠性好，工作寿命超过10 万小时，能承受1000g 的冲击。
4. 测量范围大，目前我公司生产的MEMS陀螺仪测量范围可扩展到7560º/s。
MEMS陀螺仪（gyroscope）的工作原理
传统的陀螺仪是一个不停转动的物体，根据角动量守恒原理可知：陀螺仪的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。
但MEMS陀螺仪（gyroscope）的工作原理不是这样的，因为用微机械技术在硅片衬底上加工出一个可转动的结构是一件不容易的事情。MEMS陀螺仪是利用科里奥利力，即旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。下面是导出科里奥利力的方法。有力学知识的读者应该不难理解。
