秦代开始形成制度，之后便成为历代的一项重要政治制度。创建了相对独立的监察制度。在中央设立御史大夫，位列三公,以贰丞相,御史府为其官署，掌握天下文书和监察。在地方上,皇帝派御史常驻郡县,称“监御史”，负责监察郡内各项工作。
汉承秦制，但较秦制更严密。汉武帝时，为加强中央对地方的控制，全国分为13个监察区。后来刺史逐渐变为凌驾于郡之上的一级地方一级的行政长官，失去了监督地方的作用，故改称州牧，州也由监察区变为行政区，地方的监察制度便基本瓦解。
魏晋南北朝时期基本处于封建割据的分裂状态。各朝的监察机构名目不一，但体制与汉代相同，亦有部分变化。
隋代时,中央的监察机构仍为御史台,改长官御史中丞为御史大夫，下设治书御史2人为副；改检校御史为监察御史，共12人，专执掌外出巡察。
宋代中央沿袭唐制，御史台仍设三院。地方如设通判，与知州平列，号称监州，有权随时向皇帝报奏，成为皇帝在地方上的耳目。此外，路一级的转运使、提点刑狱公事等，也负有监察州县的责任。
元代中央设御史台，御史大夫秩高从一品，全国分为22道监察区，各设肃政廉访使（即监察御史）常驻地方，监察各道所属地方官吏。
明代监察制度随着君主专制中央集权的强化而得到充分发展和完备。中央将御史台改为都察院，“主纠察内外百官之司”。都察院设左右都御史、副都御史和佥都御史。下设13道监察御史，共110人，负责具体监察工作。明代还将地方分区监察和中央按系统监察相结合，专设六科给事中，稽察六部百司之事，旨在加强皇帝对六部的控制。礼、户、吏、兵、刑、工六科，各设都给事中1人，左右都给事中各1人，给事中若干人。
清代监察机构沿袭明代，又有所发展。在中央，仍设都察院。各级官吏均置于都察院监督之下。监察权的集中，是清代监察制度的一大特点。 到宣统年间，新内阁成立，都察院被撤销。
