气体原子、分子的电离可以通过光、x射线、y射线照射，即电磁波的吸收，加速电子、离子或高能中性粒子的碰撞等方式发生。这种电离除单一激发过程引起的之外，也可通过几种激发过程的累积引起。一般，电离的方法有如下几种：
1. 光、x射线、y射线照射：电离所需要的能量由光、x射线、y射线提供。放电的起始电荷是电离生成的离子。这种电离形成的电荷密度一般极低。
2. 放电：通过从直流到微波的所有频率带的放电可以产生各种不同的电离状态。
3. 燃烧：是通过燃烧使气体发生热电离的方法。火焰中的高能粒子相互碰撞发生电离称之为热电离。另外，特定的热化学反应所放出的能量也能引起电离。
4. 冲击波：气体急剧压缩形成的高温气体，发生热电离生成等离子体。
5. 激光照射：激光照射可使物质蒸发电离。这需要大功率的激光。
6. 碱金属蒸汽与高温金属板的接触：使碱金属蒸汽与高温金属板接触生成等离子体。当气体接触到具有比电离能大的功函数的金属时则发生电离。碱金属蒸汽的电离能小，故容易发生电离。
电离生成的电子、正离子一般在短时间内又会再结合，回到中性原子或分子状态。此时，电子、正离子所具有的一部分能量就以电磁波、再结合粒子的动能、或者分子的离解能的形式被消耗。分子离解时往往生成自由基。而一部分电子与中性原子、分子接触，又生成负离子。因此，等离子体是电子，正、负离子，激发态原子、分子以及自由基混杂的状态。
