现在市场上的白光干涉仪基本上都可以达到这个精度,我们买了一台深圳产的白光干涉仪,好像叫啥中图仪器的,用来测量硅片表面粗糙度,还挺不错的,服务挺及时,性能稳定,价格也不高,你可以去咨询一下。
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