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能谱仪如何与扫描电镜配合使用

2022-04-13 体育 73阅读
能谱仪是通过物理方法测试化学成分。
一般定性分析要求不高，只要扫描电镜电子束激发足够数量的特征X射线，保证特征峰值大于背底3倍即可定性。
定量分析，如果需要精确定量，最好使用有标样分析，需要完全相同的样品表面特征及扫描电镜操作参数;一般粗糙定量，采用无标样分析，需要能谱采集扫描电镜操作参数，如加速电压、束斑尺寸、工作距离、样品台倾斜角度等；
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