纳米薄膜的制备方法有哪几种

2020-10-28 文化 54阅读
制备的方法很多,比如说:
(1)蒸镀法。主要由磁控溅射、分子束外延等方法;
(2)旋涂法,就是将溶胶等通过旋涂的方法制备薄膜;
(3)化学法。比如采用表面氧化的方法可以制备氧化物薄膜等。
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