氮化的工艺：
气体软氮化的主要工艺参数为氮化温度，氮化时间，以及氮化气氛。
气体软氮化温度常用560-570℃，因该温度下氮化层硬度最高。氮化时间通常为3-4小时，因为化合物层的硬度在共渗2-3小时达到最高，而随时间的延长，氮化层深度增加缓慢。氮化气氛由氨气分解率和含碳渗剂的滴量速度所决定。
氮化的原理：
气体软氮化，即气体氮碳共渗，是指以气体渗氮为主，渗碳为辅的的低温氮碳共渗。常用介质有50%氨气+50%吸热式气体（Nitemper法）；35%-50%氨气+50-60%放热式气体（Nitroc法）和通氨气时滴注乙醇或甲酰胺等数种。在软氮化时，由于碳原子在ε相中的溶解度高，软氮化的表层是碳、氮共同的化合物，这种化合物韧性好且耐磨。
在气体软氮化过程中，由于碳原子的溶解度极低，所以很快达到饱和状态，析出许多超显微的渗碳体质点。这些渗碳体质点，作为氮化物结晶的核心，促使氮化物的形成。而当表层氮浓度达到一定时便形成ε相，而ε相的碳溶解能力很高，反过来又能加速碳的溶解。
气体软氮化后，其组织由ε相，γ′相和含氮的渗碳体Fe3（C，N）所组成，碳会降低氮的扩散速度，所以热应力和组织应力较硬氮化大，渗层更薄。但同时，由于软氮化层不存在ξ相，故氮化层韧性比硬氮化后更佳
