一个光学谐振腔的质量用品质因数Q来描述的，Q是衡量光学谐振腔的储能（光能）和选择频率的能力。Q值的定义公式是：Q=2πν(E2/E1)。
式中，v为腔的谐振频率，E2为腔内存储的能量，E1为每秒损耗的能量。腔内存储的能量越多，或者每秒损失的能量越少，谐振腔的质量越好，即品质因素Q的值越高。
通常，Q的定义式没有实际操作的意义。光学实验的光谱表征中，常用：
其中是无源谐振腔的透射光谱谐振峰半高宽，是谐振峰的中心频率。通常，腔体积越大，对光束能量反馈越高，Q就越高。
需要注明的是，同一个光学谐振腔，对不同的波长有不同的Q。因为考虑到增益介质的吸收，不同波长的光，在不同的泵浦条件下，在谐振腔内的损耗不同。类似的，通过调节激光器谐振腔的Q（加入声光衍射光栅，或者电光晶体等），人们发明了调Q技术，以产生超短脉冲，高能量的激光。这一技术产生了超快光学这一分支。
