隐形技术和武器系统的发展可以分为探索阶段、发展阶段、应用阶段。
1、探索阶段（70年代以前）
飞机一出现，人们就企图降低它的可见光特征信号，后来，重点转变为反雷达探测。在第二次世界大战中，德国、美国和英国都曾尝试降低飞机的雷达特征信号。德国潜艇通气管采用过能够吸收雷达波的涂料。
60年代中期以后，一体化防空系统效能得到很大提高，提高飞机生存能力的重要性和迫切性变得异常突出，西方国家研究出了一些战术和技术对抗措施，并研制出U-2、A-12、YF-12、SR-71、D-21等具有一定隐形能力的飞机。但由于缺少提高生存能力的系统方法，更缺少支撑隐形的先进技术，所以还没有出现真正的隐形武器系统。
2、发展阶段（70年代至90年代初）
在采用降低特征信号以提高飞机生存能力的强烈需求推动下，提出了研制以降低雷达截面为主要目标的、实用的、真正的隐形飞机的要求；由于理论，以及计算机、电子、控制、材料技术的进步，以减小雷达截面为主要目标的实用的第一代隐形飞机——F-117 A“夜鹰”于1975年问世。美空军1981年开始发展第二代隐形飞机——B-2隐形轰炸机。
此外，F-16C、F/A-18C/D、B-1B等也采用了部分隐形技术，隐形技术还被推广到各种导弹、直升机、无人机、水面舰艇当中。潜艇的噪声以每10年降低10~20分贝的速度下降，世界上最好的核潜艇的噪声已经降低到90~100分贝，低于海洋环境噪声（115分贝）。
3、应用阶段（90年代以后）
第二代隐形飞机研制成功，第一、第二代隐形飞机多次参加军事行动，取得显著战果。开始研制第三代隐形飞机。隐形技术向导弹、舰艇、直升机、战车，甚至弹药、地面设备、服装和机场等领域推广和移植。
美空军于1993年12月开始部署B-2隐形轰炸机，这是集低可观测性、高空气动力效率和大载荷于一身的第二代隐形飞机，采购数量为21架。
美空军于80年代开始设计F-22“猛禽”战斗机，1993年开始研制“联合攻击战斗机”，它们都属于第三代隐形飞机。
隐身飞机开始大量参加战斗是这个时期的一大特点。
