目前，佳能比较好的微单是M5和M6，二者主要参数区别不大，外形区别较大。
EOSM5、M6：有效像素约2420万，图像感应器尺寸：约22.3x14.9毫米，使用DIGIC7数字影像处理器，连拍速度最高9张/秒，最高快门速度1/4000秒，全像素双核CMOSAF（DualPixelCMOSAF）相差检测自动对焦系统，内置闪光灯指数约5，3英寸约162万点（M6是104万点）可翻转触摸屏（向上翻转约85°，向下翻转约180°；M6向下45度、向上180度），并支持Wi-Fi和NFC功能。
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