各种类型的单片机片内程序存储器的配置形式主要有以下几种形式：
（1）掩膜（Msak）ROM型单片机：内部具有工厂掩膜编程的ROM，ROM中的程序只能由单片机制造厂家用掩膜工艺固化，用户不能修改ROM中的程序。例如：MCS51系列的8051。
掩膜ROM单片机适合于大批量生产的产品。用户可委托芯片生产厂家采用掩膜方法将程序制作在芯片的ROM。
（2）EPROM型单片机：内部具有紫外线可擦除电可编程的只读存储器，用户可以自行将程序写入到芯片内部的EPROM中，也可以将EPROM中的信息全部擦除。擦去信息的芯片还可以再次写入新的程序，允许反复改写。例如：MCS51系列的8751。
EPROM型单片机使用比较方便，但价格较高，适合于研制产品或结构要求简单的小批量产品。
（3）无ROM型单片机：内部没有程序存储器，它必须连接程序存储器才能组成完整的应用系统。例如：MCS51系列的8031。无ROM型单片机价格低廉，用户可根据程序的大小来选择外接程序存储器的容量。这种单片机扩展灵活，但系统结构较复杂。
（4）E2ROM型单片机:内部具有电可擦除叫可编程的程序存储器,使用更为方便。例如：MCS51的派生型89C51单片机。
（5）OTP(OneTimeProgrammable)ROM单片机：内部具有一次可编程的程序存储器，用户可以在编程器上将程序写入片内程序存储器中，程序写入后不能再改写。例如：NEC公司的μPD75P308GF3B9。这种芯片的价格也较低。
