LOT设备是指用于半导体生产过程中的一种设备，即“大样式晶圆处理设备”。该设备主要由以下几个部分组成：
1. 洗涤机：用于清洗晶圆表面的化学杂质，如PMMA、SiN等；
2. 烘箱：用于将湿度去除并加热晶圆使其干燥；
3. 接触式曝光机：将芯片所需要的图形显影在晶圆上，使其变为可处理的形式；
4. 剥蚀机：用于剥去被暴露了的区域的涂层，以便进行下一步处理；
5. 电子束物理气相沉积机（EB-PVD）：用于在晶圆表面沉积钨、铜、TiN等金属材料，以制备各种电子元件；
6. 等离子刻蚀机：用于将不需要的材料从晶圆表面刻蚀掉。
LOT设备的主要特点和作用：
1. 提高晶圆的生产效率和制造精度；
2. 提高半导体元器件的品质并保持其稳定性；
3. 可大幅度降低半导体生产成本并缩短生产时间；
4. LOT设备的晶圆处理过程非常复杂，需要高度精密的控制和运行技术；
5. LOT设备是半导体生产最核心的设备之一，对于半导体产业具有重要的意义。
